Mphete ya Alumina Ceramic Yoyera Kwambiri ya Zipinda za CVD / PVD Process
Mphete ya ceramic ya St.Cera idapangidwa mwapadera kuti igwiritsidwe ntchito m'zipinda zoyendetsera za CVD (Chemical Vapor Deposition) ndi PVD (Physical Vapor Deposition). Yopangidwa kuchokera ku 99.8% alumina yoyera kwambiri (Al₂O₃), mphete iyi imagwira ntchito ngati choyika cha chipinda, mphete yolunjika, kapena gawo la process kit kuti isunge plasma ndikuteteza makoma a chipinda kuti asakokoloke. Zipangizozi zimapereka kukana kwabwino kwa plasma, mphamvu yayikulu ya dielectric (15×10⁶ V/m), komanso kukhazikika kwa kutentha mpaka 1600°C, kuonetsetsa kuti nthawi yayitali ikugwira ntchito m'malo okhala ndi fluorine. Kulekerera koyenera (±0.05 mm pa ID/OD) ndi kusalala (≤10 μm) zimathandiza kuti m'mphepete mwa wafer muzikhala bwino, kusintha kufanana kwa malo ndi kuchepetsa kupanga tinthu.
Mafotokozedwe (ochokera pa 99.8% Al₂O₃):
| Katundu | Mtengo |
| Zinthu Zofunika | 99.8% Alumina (Minyanga ya Njovu) |
| Kuchulukana | 3.93 g/cm³ |
| Kumwa Madzi | 0% |
| Mphamvu Yosinthasintha | 361 MPa |
| Kulimba kwa Kusweka | 3–4 MPa·m¹/² |
| Kuuma kwa Vickers | 16 GPa |
| Modulus ya Achinyamata | 380 GPa |
| Kutentha kwa Matenthedwe | 32 W/m·k |
| Kuwonjezeka kwa Kutentha (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Mphamvu ya Dielectric | 15×10⁶ V/m |
| Kukana Kwapadera | >10¹⁴ Ω·cm |
| Kutentha Kwambiri Kwambiri | 1600°C |
Mapulogalamu:
- · Mphete zoyang'ana chipinda cha CVD ndi mphete za m'mphepete
- · Mphete zotchingira chipinda cha PVD ndi mphete zomangirira
- · Zophimba zipinda ndi mphete zophimba
- · Mphete zosungira plasma mu makina oyeretsera a dielectric
Njira Yopangira:
Kukanikiza kosasinthasintha → makina obiriwira → kupukuta pa 1600°C → Kupukuta kwa CNC ID/OD → kukulunga pamwamba → kuyeretsa kwa ultrasound → Kuyang'anira 100% CMM. Kumaliza kwa pamwamba kosalala kwambiri (Ra ≤0.4 μm) kumachepetsa kumatirira kwa tinthu.
Kuwongolera Ubwino:
- · Kuyang'ana 100% (ID, OD, makulidwe, kusalala)
- · Kuyang'ana utoto wolowa m'malo mwake kuti muwone ngati pali ming'alu yaing'ono pamwamba
- · Kuyesa mphamvu ya dielectric pa ASTM D149
- · Palibe kusintha kwa mtundu kapena ma porosity omwe akuwoneka pansi pa maikulosikopu ya 20 ×
Ubwino kuposa mphete zachitsulo kapena quartz:
- · Nthawi yayitali ya moyo ndi 5–10× kuposa mphete za aluminiyamu mu plasma ya fluorine
- · Palibe kuipitsidwa kwa zitsulo m'mafilimu opyapyala
- · Kukana kwambiri kwa plasma kuposa quartz (palibe mabowo owonongeka)
- · Imasunga kutentha kwa magetsi >10¹⁴ Ω·cm ngakhale mutagwiritsa ntchito kwa nthawi yayitali
Zinthu Zina — Silicon Nitride (Si₃N₄):
Pa ntchito zomwe zimafuna kulimba kwambiri kwa kusweka (6.2 MPa·m¹/²) komanso kukana kutentha kwambiri (kukulitsa coefficient 3.2×10⁻⁶/℃), mphete za Si₃N₄ zilipo. Komabe, alumina ndi yotsika mtengo kwambiri pa ntchito zambiri za CVD/PVD. Chonde tchulani zomwe mukufuna popanga oda.
Kusintha:
- · Mabowo odutsa, ma profiles oyenda, kapena mabowo oikirapo
- · Malo okhala ndi Y₂O₃ kuti awonjezere kukana kwa plasma (ngati mukufuna)
- · Kujambula kwa laser kwa nambala ya gawo / khodi ya gawo
Zindikirani:Deta yomwe ili pamwambapa ikutsatira mosamala tebulo la katundu wa Al₂O₃ lomwe laperekedwa. Pa mphete za Si₃N₄, onani pepala la data la Si₃N₄ losiyana lomwe laperekedwa.
