Kuphatikiza ndi ubwino wonse wa magwiridwe antchito a zinthu zachikhalidwe za Al2O3 ndi BeO, ceramic ya Aluminium Nitride (AlN), yomwe ili ndi kutentha kwakukulu (kutentha kwa monocrystal komwe kumayendetsedwa ndi 275W/m▪k, kutentha kwa polycrystal komwe kumayendetsedwa ndi 70~210W/m▪k), dielectric constant yotsika, kutentha kokwanira kogwirizana ndi single crystal silicon, komanso mphamvu zabwino zamagetsi zotetezera, ndi chinthu chabwino kwambiri pamakina ozungulira ndi ma paketi mumakampani opanga ma microelectronics. Ndi chinthu chofunikira kwambiri pazigawo za ceramic zomwe zimakhala ndi kutentha kwakukulu chifukwa cha mphamvu zabwino zamakina, kutentha komanso kukhazikika kwa mankhwala.
Kuchuluka kwa AlN m'malingaliro ndi 3.26g/cm3, kuuma kwa MOHS ndi 7-8, kukana kutentha kwa chipinda ndi kwakukulu kuposa 1016Ωm, ndipo kutentha kwa chipinda ndi 3.5×10-6/℃ (kutentha kwa chipinda ndi 200℃). Zomera za AlN zopanda utoto ndi zopanda utoto komanso zowonekera, koma zimakhala ndi mitundu yosiyanasiyana monga imvi, yoyera kapena yachikasu yopepuka, chifukwa cha zonyansa.
Kuwonjezera pa kutentha kwambiri, AlN ceramics ilinso ndi ubwino wotsatira:
1. Kuteteza magetsi bwino;
2. Kuchuluka kofanana kwa kutentha komwe kumapangidwa ndi silicon monocrystal, kopambana zinthu monga Al2O3 ndi BeO;
3. Mphamvu yayikulu yamakina komanso mphamvu yofanana yopindika ndi zoumba za Al2O3;
4. Kutayika kwa dielectric kokhazikika komanso kutayika kwa dielectric pang'ono;
5. Poyerekeza ndi BeO, kutentha kwa AlN ceramics sikukhudzidwa kwambiri ndi kutentha, makamaka pamwamba pa 200℃;
6. Kukana kutentha kwambiri komanso kukana dzimbiri;
7. Yopanda poizoni;
8. Iyenera kugwiritsidwa ntchito pamakampani opanga zinthu za semiconductor, makampani opanga zitsulo zamagetsi ndi madera ena a mafakitale.
Nthawi yotumizira: Julayi-14-2023